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上海复工复产如火如荼，半导体公司再斩获佳绩。记者得悉，近来，上海优睿谱半导体设备有限公司(简称“优睿谱”)首台半导体专用FTIR(傅立叶改换红外光谱)丈量设备Eos200正式交给客户，这也是国内半导体量测设备公司初次完成FTIR设备交给。
FTIR是一款运用红外光谱经傅里叶改换从而剖析各种外延层厚度以及元素浓度的丈量设备，可用于丈量一代半导体(硅外延片)、二代半导体(砷化镓、磷化铟衬底外延)、三代半导体(碳化硅、氮化镓外延片)、分子束外延(MBE)等的外延层厚度，光刻胶厚度及CMP抛光后的厚度，以及测定半导体制程各种元素浓度。长时间以来，半导体FTIR商场被Nanometrics(现Ontoinnovation)、赛默飞等世界设备厂商所独占。
优睿谱介绍，跟国外竞品比较，Eos200是一款全自动丈量设备，选用模块化规划理念，在核心部件、整机、软件等多个方面均进行了大幅立异规划，使得整机丈量性能在到达国外竞品平等水平的情况下，还大幅降低了客户的运用及保护本钱。尤其是，得益于杰出的供应链资源，优睿谱可大幅缩短设备交给周期。
材料显现，优睿谱建立于2021年，由长时间从事于半导体职业的海归博士领衔，协同国内资深的半导体前道制程量测设备技能团队一起建议建立，致力于打造高品质的半导体前道量测设备。
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